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(学科平台建设公告)光刻机试用公告

发布时间:2020-11-05文章来源: 浏览次数:

在省双一流项目资金支持下,经前期调研、采购、实验室改造等环节,近日学院完成了光刻机的安装与调试工作,于10月下旬完成厂家验收工作,现开放基本功能试用。光刻机是材料、物理、化学及生物等学科研究教学的基本公共设备之一,同时服务于学院和学校相关教学、科研任务。

光刻机介绍:

品牌:德国SUSS

型号:MJB4

主要功能:利用汞灯紫外线曝光,通过接近接触方式,将掩膜版图形复制到基片上。同时配备高可靠性高精度对准系统,实现基片正面高精度对准。

应用范围:微电子元件,微光学元件,集成电路加工及制备,半导体材料。

样品要求:标准四英寸硅片或夹具可用碎片

存放地点:激光所308

联系人:赵红艳老师,刘广强老师

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