在省双一流项目资金支持下，经前期调研、采购、实验室改造等环节，近日学院完成了光刻机的安装与调试工作，于10月下旬完成厂家验收工作，现开放基本功能试用。光刻机是材料、物理、化学及生物等学科研究教学的基本公共设备之一，同时服务于学院和学校相关教学、科研任务。

光刻机介绍：

品牌:德国SUSS

型号：MJB4

主要功能:利用汞灯紫外线曝光，通过接近接触方式，将掩膜版图形复制到基片上。同时配备高可靠性高精度对准系统，实现基片正面高精度对准。

应用范围:微电子元件，微光学元件，集成电路加工及制备，半导体材料。

样品要求:标准四英寸硅片或夹具可用碎片

存放地点：激光所308室

联系人：赵红艳老师，刘广强老师